针对193（nm）ArF光源，其实我们已经有了比较深入的研究，想要出成果并不难。但是，我听说ASML公司已经联合多家芯片制造巨头，开始研发35（nm）EUV光源技术。对于这项技术，我们的积累几乎为零。”
“廖主任，我们现在就是需要193（nm）ArF光源，如果你们能帮助我们解决这个问题，国产高端光刻机就有可能在尽早诞生。”
张潇一听廖主任这么说，知道这是对方找了个台阶，他赶紧顺着台阶下来，给在座的几人打个圆场。
这时，林千祥也笑了：“你看看，搞了半天还闹了点误会。廖主任，张总和胡总他们也不容易，要不咱们抽一些人力出来，把193（nm）ArF光源帮他们解决了？”
“好吧，那我们就试一试。”
廖主任最终吐了口，答应尽快把光源搞出来。
“多谢廖主任，多谢林副主任。二位请放心，研发193（nm）ArF光源的资金，我方绝对能保证，具体事项张董会派专人前来洽谈的。”
胡杨知道研发工作必须要有充足的资金保障，他赶紧表了态。至于剩下的技术问题，自然有其他人来谈判，今天只敲定原则。
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