匀性要在千分之零点三的范围内。
门槛就在这里。
事实上，IBM早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻，而十五年过后，对国内来说，还是一道深不可测的技术门槛。
没想到，这玩意竟然被张大京搞来了……
王黯然忙问道：“张教授，我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的，你怎么……？”
“岸然，你错了，瓦森纳协议中限制出口的列表，今年没有把248纳米krf列入其中。
不过需要说明的是，这款激光器是不可以用作军事用途的，所以，他们会派人监管，并定期检查的。”
自己的消息还是滞后了啊！
王岸然摇摇头，如果248纳米光刻机解除禁运的话，国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步，甚至在深紫光上有了突破。
原因很简单，瓦森纳协议的核心就是N-2政策，西方审批出口的依据就是，对华出口的设备必须是落后两代。
而实际上，审批程序很复杂，等真拿到设备的时候，差不多已经是第三代的了，基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。
这也没办法，王岸然