“什么?”
苏老难以置信的看向王岸然。
“岸然,你们已经掌握320纳米制造工艺?”
王岸然笑道:“哪有那么容易,实验室制备320纳米制程的芯片,和量产,完全是两回事。”
量产是兼顾到成本和效率,而实验室内,是完全不计成本的,更不需要效率,只要能做出就行。
“你们是怎么做到的,岸然,我可不是外行,就深紫光源这一条,我想,你们都弄不到这样的设备吧!”
“苏老,320纳米制造工艺,还用不到深紫光源,现有的设备就可以做出来。”
“……”
郭怀生拿出图纸,在会议桌上展开。
“苏老,这就是原理图。”
用现有的设备,通过多次45度角照射和多层掩膜版相移,可以将制造工艺显著上升一个层次。
“我们将工作台进行了相应的改造,以适应现有的光刻技术。”
“那你们是怎么解决对准系统的。”
王岸然指向车间里的那台四不像的光刻机说道:“原来的对准系统已经拆除了,现有的是自动辅助,最后是人工校准。”
“人工校准?”