海棠书屋 > 都市小说 > 军工霸业 > 正文 第一千零九十二章 晶圆厂与硅晶圆片
形式广泛存在于岩石、砂砾中。而硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤,即硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。首先是硅提纯,将沙石原料放入温度约为2000度以上的电弧熔炉中,再加以碳元素物质原料。在高温下,碳和沙石中的二氧化硅中的氧与碳进行结合,从而得到纯度约为98%的纯硅。但是这种程度的硅对于微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此对提炼出来的硅进行进一步提纯。从而得到其纯度高达999999999%的多晶硅,这种纯度的硅也称电子级硅。
    接下来是单晶硅生长,最常用的方法叫直拉法。所为直拉法就是利用高温加热器高纯度多晶硅,使其多晶硅溶解。然后在使用坩埚带着多晶硅熔化物在旋转,把一颗籽晶浸入其中,并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转,同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去,在冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。用直拉法生长后,单晶棒将按适当的尺寸进行切割,然后进行研磨,将凹凸的切痕磨掉,再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜,晶圆片制造就完成了。
    虽然说是这么容易


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