观看着一块切割好的晶圆。
这是一块高质量晶圆,目前国内还没有突破3英寸这个尺寸。林强生这里算是填补了国内的空白。
“兰英,这里一个月的产能是多少?”王守武向林兰英问道。
林兰英很快的说道:“这里的一台单晶炉可以装2.28寸热场,2.28寸热场可装料量31KG,改进了单晶硅生长数据之后,一台单晶炉每月能拉制出56根单晶棒。车间内有40台这样的单晶炉,一个月的单晶硅产量在2.4吨左右。长700mm的单晶棒,每根最多能够切割出2333片硅晶片。”
林兰英继续说道:“这个车间的产量很高,这种新式的单晶炉至少比国内现在所用的单晶炉提高了10倍的效率,我建议国内大力普及这项热屏技术,还有林强生提供的氢氧化钡坩埚涂层。据我们的实验这种涂层很有潜力,将能让石英坩埚达到长寿命,经过我们的实验已经有连续开了100炉还无损坏现象的涂层配方,这种涂层在当今世界上绝对处于技术领先水平!”
王守武等半导体专家此次来滨城就是来考察由林兰英带领的硅单晶实验小组对封闭式单晶炉的测试情况,经过林兰英的介绍,看样子这位在国内开创制造了开口式硅单晶炉的发明人也十分推