“第一个难点说完了,那现在说第二个难点。”刘林把自己手里的微型电子制造工艺生产线的资料放到桌面,用手压住又接着道。
“下面我说说hcc屏幕的制造工艺流程!”
“hcc屏幕制造工艺流程主要包含4个子流程:tcc加工工艺(tcc process),彩色滤光器加工工艺(color filter process),单元装配工艺(cell process),和模块装配工艺(module process)。”
“tcc加工工艺(tcc process),加工工艺的作用是在下玻璃基板上形成tcc和电极阵列。tcc和电极层状结构,采用五掩膜工艺,就是利用5块掩膜,通过5道相同的图形转移工艺,完成tcc层状结构的加工!
“而图形转移积工艺由淀积、光刻、刻蚀、清洗、检测等工序构成,他的其具体流程就是:开始——玻璃基板检验——薄膜淀积——清洗——覆光刻胶!
曝光——显影——刻蚀——去除光刻胶——检验——结束。
“其中刻蚀方法用到的就是离子刻蚀,这个设备也没办法购买,也是我们自己设计并制造了。”刘林说站了起来,从饮水机上拿了