了准分子激光光刻理念,并且并进行了演示,相比于传统的汞灯光源,以准分子激光作为光源的光刻设备有着更好的加工精度,甘迪·杰恩博世提到的深紫外光刻设备,可以加工从500纳米只100纳米以下芯片的能力。
在甘迪·杰恩博士提出了准分子激光光刻的理念之后,著名的光刻设备光源制造商lambda physik公司和lumonic公司也先后发表声明,表示要开发准分子激光光源……”
说到这里,亚瑟·德尔·普拉多一脸热切的望着杨·蒂默,激动的道:“蒂默先生,这可是个绝佳的机会!请相信我,飞利浦半导体能否重新崛起,就看这次能否把握住机会了。”
“这个……”
杨·蒂默似乎有些犹豫,他看看哈尔伯·杰斯特斯拉,问道:“哈尔伯,你听说过亚瑟先生说的这个准分子激光光刻理念吗?”
作为整个飞利浦集团的全球首席执行官,杨·蒂默没听说过甘迪·杰恩博士的“准分子激光光刻”理念是很正常的,毕竟他要做的是管理企业而非半导体技术,但作为飞利浦半导体事业部的负责人,如果哈尔伯·杰斯特斯拉不知道这个,那可就有些说不过去了。
哈尔伯·杰斯特斯拉皱了下眉头