经理一脸紧张的看向顾律，“顾先生，有什么问题吗？”
有问题，问题大了！
纳米三氧化二铝粉末当做磨料，加入buehler phoenix bets型抛光机，进行单硅晶片的精密抛光，本身就是极为不智的一种举动。
因为三氧化二铝这个东西，实在是太硬了啊！
即便是纳米级别的三氧化二铝粉末，硬度也不会减少。在抛光过程中，肯定会对硅晶片造成损伤。
另一方面，根据preston公式，mrr=pwnv。
抛光磨料硬度越高，对应的切削深度越大，塑性磨削作用越弱。
他想，他已经知道，为什么使用新设备抛光后的硅晶片，在精度方面一直达不到要求了。
“抛光液用错了。”顾律眼神 的平淡的看了张经理一眼，开口说道。
“难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗，我之前在国营大厂里，一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。
顾律笑着开口解释，“对于那些精度不高的硅晶片，使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题，因为制备简单，成本还低，但对于高精度抛光机，这种高硬度的抛光磨料，就明显不适用了。”