底上进行气相外延,生长各种3-v主族、2-6副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
上面说的有些复杂。
简单来理解的话,就是通过这台mocvd设备,可以将有机化合物和氢化物,合称为实验室所需的gan宽禁带半导体。
这是一台生长宽禁带半导体的仪器。
顾律在国外见过这种设备。
不过国内和国外的mocvd系统是有些区别的。
因为mocvd系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性,所以国内和国外mocvd系统的主要区别在于反应室结构。
在国外,反应室结构大多采用‘turbodisc反应’,而国内则是采用‘行星反应’。
两者各有其优劣,说不上谁更好。
但呈现在顾律面前的这台mocvd,虽然使用的仍旧是国内的行星反应室结构,但在设备的其他组成系统上,应该进行了深层次的优化。
顾律只是简单的上下打量了这台设备一眼,就得出一个这样的结论。
“张主任,你们的这台设备应该进行了一定程度的改装吧,根据我的推测,这台mocvd不止最多可