“岸然，这事我必须当面和你说清楚，这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺，不过其中有四台，和其他的有些区别。”
王岸然一下来了兴致。
“有什么不一样？”
“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源，而另外四台……”
“张教授，你倒是说啊！”
张大京嘴角带着笑，指着王岸然说道：“岸然，我一直以为你比别的年轻人沉得住气，现在看来，只是没找到你感兴趣的东西啊！”
王岸然白了张大京一眼，说道：“张教授，你再不说，我可要翻脸了啊！”
“好！好！”张大京摇摇头，说道：“岸然，有四台使用的是Krf248纳米准分子激光光源。”
额，王岸然感觉呼吸都有些急促，krf准分子激光光源有两种波长，一种是248纳米，另外一种就是193纳米。
这跟高压汞灯光源不一样的是，高压汞灯光源还属于可见光，而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。
虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究，而且取得了相应的成果，不过适用于光刻的248纳米光源，要求的是百焦级别的高功率，以及粒子均