短一几天时间内，刘苛带领的临时攻关小组，材料，设备等等，已经花掉了接近2千万。
花掉就花掉了，但问题是，现在没解决问题啊！
这些钱等于打水漂了，如果按这样败下去，别说玖科技，就算国家来了，也扛不住啊。
失败之后，就是找出问题同总结经验。
但，现在问题出在哪都不知道，还解决毛问题。
这只是等离子刻蚀机其中一个技术难点，像这样同等难度的问题rdd离子激光仪，还有好十几个呢，这只是rdd离子激光仪的问题，还没算难度便大的，等离子刻蚀机和浮动光刻机呢！
刘林想了想，伸手把放在桌子上的rdd离子激光仪的料资拿了起来。
rdd离子激光仪，又叫等pdd激光平面刻印仪，是工业微电子中非常常用的加工设备。
rdd离子激光仪，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子