吐了一口浊气，把资料往下翻！
刘苛等人看到刘林认真的在翻资料，便对着桌观上的配件再一次仔细观察，希望能找到问题出在哪。
ed 设备主要包括预真空室、刻蚀腔、供气系统和真空系统四部分。
预真空室：预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度，不受外界环境（如：粉尘、水汽）的影响，将危险性气体与洁净厂房隔离开来，它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。
刻蚀腔体：刻蚀腔体是ed刻蚀设备的核心结构，它对刻蚀速率、刻蚀的垂直度以及粗糙度都有直接的影响，刻蚀腔的主要组成有：上电极、ed射频单元、rt 射频单元、下电极系统、控温系统等组成。
供气系统：供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，通过压力控制器（pc）和质量流量控制器（mfc）精准的控制气体的流速和流量。
真空系统：真空系统有两套，分别用于预真空室和刻蚀腔体。
刻蚀腔体就是现在桌子上卡动不弹不了的那组合件。
现在刻蚀腔体就把刘林给卡住了，后面还有曝光镜头，ccd相机等十几个同等难度的组合件呢。
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