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林良加入讨论“老板,你让我沟通的gca,他们答应给我们定制前道和后道光刻机,至于入股之事,他们要等我们的晶圆厂投产之后才会考虑。”
“这样啊准分子激光光源生产商呢”张恒追问。
“通过咨询公司,我找到了两家业界小有名气的公司,一家是bda physik,另一家是gsi,前者经营纺织品印染辅助设备,后者专门为出版社服务,前者对我们的参股意向表示欢迎,他们的光源还未曾在ic制造中使用过。”
“老板,你觉得准分子激光器可能会代替汞灯”霍尔尼敏锐地提出了疑问。
“如果摩尔的语言是准确的,ic必将愈来愈小型化,成本控制也相应会要求更高,对于光源的要求自然会越来越高,在这两方面,准分子激光器具有很大潜力。”
集成电路ic要在单片晶圆硅片上构建众多的电子元件主要是os管,而这些元件的各个部分,比如p结,n结,栅极,等等,需要通过光刻逐层构建。
工厂依照确定的集成电路版图制造掩膜,然后使用光刻机将掩膜投影到已经涂了抗蚀剂的晶圆上,使得抗蚀剂曝光,之后对曝光过的抗蚀剂进行显像,对随后对晶圆进行化学蚀刻,然